100 kV 下TESCAN TENSOR對(duì)厚密樣本的4D-STEM分析性能

TESCAN TENSOR是一款中壓近超高真空集成4D-STEM。中壓100kV下，電子束也能穿透絕大部分厚密樣品，并保持清晰的圖像和足夠的分辨率。這都?xì)w功于完美集成的直接電子探測(cè)相機(jī)和電子束旋進(jìn)衍射技術(shù)。TESCANTENSOR將以材料科學(xué)研究與半導(dǎo)體工業(yè)中的基準(zhǔn)樣本結(jié)果向您證明所獲數(shù)據(jù)的質(zhì)量。

在100 kV加速電壓下，電子束能夠穿透的樣品的最大厚度是多少，以及在這個(gè)厚度下是否還能保持清晰的圖像質(zhì)量和足夠的分辨率？

我們的直接電子探測(cè)相機(jī)的檢測(cè)效率超過(guò)90%，對(duì)于材料科學(xué)中通常使用的樣本，并不受樣本厚度的限制。對(duì)于金屬樣本，例如鎢，使用明場(chǎng)、暗場(chǎng)、高角環(huán)形暗場(chǎng)STEM成像技術(shù)，我們可以成像超過(guò)200nm厚的切片。使用電子束旋進(jìn)可以可靠地拍攝超過(guò)250nm厚的各種材料的晶體相圖和取向圖。更多信息，請(qǐng)件技術(shù)說(shuō)明。

這份技術(shù)說(shuō)明探討了現(xiàn)代 STEM 儀器對(duì)厚密樣品進(jìn)行成像和分析的能力。一起來(lái)看一下當(dāng)靈敏的直接電子探測(cè)相機(jī)在電子束旋進(jìn)的衍射加持下，即使在100kV電壓，TESCAN TENSOR對(duì)厚密樣品進(jìn)行拍攝的數(shù)據(jù)質(zhì)量。

TESCAN TENSOR 4D-STEM關(guān)鍵亮點(diǎn)

深入了解現(xiàn)代STEM儀器成像和分析的能力。

理解樣本厚度對(duì)數(shù)據(jù)質(zhì)量和分析結(jié)果的影響。

直接電子探測(cè)相機(jī)和電子束旋進(jìn)在提高STEM分析能力中的作用。

用材料科學(xué)研究和半導(dǎo)體工業(yè)中使用的基準(zhǔn)樣本的結(jié)果驗(yàn)證所獲數(shù)據(jù)的質(zhì)量

說(shuō)明在研究多相功能材料，例如多孔電池電極和堆疊半導(dǎo)體器件時(shí)，使用厚密樣本的必要性。這是因?yàn)檫@些材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)完整性對(duì)于研究至關(guān)重要，而這種完整性是薄片樣本所無(wú)法提供的。

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了解現(xiàn)代 STEM 儀器如何提高所獲數(shù)據(jù)的質(zhì)量并實(shí)現(xiàn)對(duì)高難度樣品的分析。

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進(jìn)一步了解：

電子旋進(jìn)衍射

混合像素直接電子衍射相機(jī)

分析型 4D-STEM 技術(shù)解析

請(qǐng)?jiān)L問(wèn) TESCAN TENSOR 中文網(wǎng)站：zh.info.tescan.com/stem

TESCAN公司介紹

TESCAN公司成立于1991年，是一家專(zhuān)注于微觀形貌、結(jié)構(gòu)和成分分析的科學(xué)儀器的跨國(guó)公司，是全球知名的電子顯微儀器制造商，總部位于全球最大的電鏡制造基地-捷克布爾諾，產(chǎn)品主要有電子顯微鏡、聚焦離子束、X射線顯微CT、電鏡和拉曼、雙束電鏡和二次離子質(zhì)譜的一體化聯(lián)用系統(tǒng)及相關(guān)附件和軟件，正被廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生命科學(xué)、地球科學(xué)、半導(dǎo)體和電子器件等領(lǐng)域中。