前兩個(gè)章節(jié)我們?cè)敿?xì)分析了二次電子SE和背散射電子BSE，并對(duì)這兩者進(jìn)行了更細(xì)致的分類(lèi)，對(duì)它們產(chǎn)生的原因和襯度及其它特點(diǎn)也做了詳細(xì)的說(shuō)明。相信讀者對(duì)這些不同的信號(hào)已經(jīng)有了全新的認(rèn)識(shí)。這一章節(jié)我們就要把這些不同類(lèi)別的電子信號(hào)再進(jìn)行一個(gè)回顧和總結(jié)。我們將常規(guī)定義的SE信號(hào)分成了低角SE、高角SE和軸向SE三個(gè)類(lèi)別；又將BSE信號(hào)劃分為低角BSE、中角BSE、高角BSE、Topo-BSE 和Low-...
在使用掃描電鏡進(jìn)行形貌觀察的時(shí)候，有時(shí)為了能同時(shí)獲取形貌和成分襯度的圖像，會(huì)采取多通道探測(cè)器同時(shí)進(jìn)行 SE 和 BSE 的信號(hào)采集的方式。SE 和 BSE 圖像雖然都可以滿(mǎn)足形貌觀察的要求，但是它們對(duì)形貌的表現(xiàn)卻并不完全一致，尤其是需要對(duì)樣品進(jìn)行精確測(cè)量的時(shí)候。兩者的測(cè)量結(jié)果可能會(huì)存在很大誤差，哪一個(gè)結(jié)果才是正確的？是什么導(dǎo)致了誤差的出現(xiàn)？如何解決這一問(wèn)題？...這就是我們今天準(zhǔn)備深入探討的...
