清華大學(xué)材料科學(xué)與工程研究院中心實(shí)驗(yàn)室

清華大學(xué)材料科學(xué)與工程研究院中心實(shí)驗(yàn)室

中心實(shí)驗(yàn)室始建于1980 年，當(dāng)時(shí)稱為清華大學(xué)材料科學(xué)研究所中心實(shí)驗(yàn)室。目前中心實(shí)驗(yàn)室的公用平臺(tái)有各類大型精密分析測試儀器五十多臺(tái)套，在X 射線衍射設(shè)備方面具有特殊的實(shí)力，在儀器及其功能數(shù)量方面，與同類實(shí)驗(yàn)室相比，在國內(nèi)處于領(lǐng)先地位。

中心建有電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)室、X 射線衍射實(shí)驗(yàn)室、磁學(xué)性能實(shí)驗(yàn)室、表面分析實(shí)驗(yàn)室（XPS，AES）、熱學(xué)性能實(shí)驗(yàn)室以及XRF、EPMA、SPM 和激光拉曼等分室，均擁有頂級(jí)的分析儀器。

多年來，該中心是面向全校和校外開放服務(wù)的分析測試平臺(tái)，為清華大學(xué)校內(nèi)外相關(guān)領(lǐng)域的研究人員、科學(xué)家、工程師提供服務(wù)，主要做材料的結(jié)構(gòu)、組分及性能的測試分析，因此對(duì)材料微區(qū)表面的分析具有很高的要求。

在2018年，該實(shí)驗(yàn)室購置了TESCAN S9000X氙等離子源雙束FIB，同時(shí)還聯(lián)用； TESCAN獨(dú)有的共聚焦拉曼成像系統(tǒng)（RISE），以及飛行時(shí)間—二次離子質(zhì)譜（TOF-SIMS）聯(lián)用系統(tǒng)，再加上第三方提供的EDS、EBSD，構(gòu)建了一整套高分辨、高靈敏度的微觀綜合分析系統(tǒng)，可用于高分辨表面形貌分析、微區(qū)的高靈敏度成分、結(jié)構(gòu)分析及快速的三維重構(gòu)等應(yīng)用，而這也是TESCAN微分析綜合解決方案的優(yōu)勢所在。這也是目前國內(nèi)第一臺(tái)在氙等離子源FIB上配置的“顯微綜合分析平臺(tái)”，集微觀形貌、元素分析、取向分析、結(jié)構(gòu)分析、分子組成、結(jié)晶及應(yīng)力等多種信息表征為一體，是TESCAN“All-In-One”微區(qū)綜合表征理念的完美體現(xiàn)！

該設(shè)備是清華大學(xué)中心實(shí)驗(yàn)室最重要的設(shè)備之一，可以為清華大學(xué)校內(nèi)外相關(guān)領(lǐng)域的研究人員、科學(xué)家、工程師提供服務(wù)。

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http://www.mse.tsinghua.edu.cn/info/1016/1035.htm