掃描電子顯微鏡主要由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號收集處理系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、圖像處理顯示和記錄系統(tǒng)、樣品室樣品臺、電源系統(tǒng)和計算機控制系統(tǒng)等組成。第一節(jié)   電子光學(xué)系統(tǒng)電子光學(xué)系統(tǒng)主要是給掃描電鏡提供一定能量可控的并且有足夠強度的，束斑大小可調(diào)節(jié)的，掃描范圍可根據(jù)需要選擇的，形狀完美對稱的，并且穩(wěn)定的電子束。電子光學(xué)系統(tǒng)主要由電子槍、電磁聚光鏡、光闌、掃描系統(tǒng)、消像散器、物鏡和各類對中線圈組成，如圖3-...

第四節(jié)   各種信號與襯度的總結(jié)前面兩節(jié)詳細(xì)的介紹了掃描電鏡中涉及到的各種電子信號、電流信號、電磁波輻射信號和各種襯度的關(guān)系，下面對常見的電子信號和襯度做一個總結(jié)，如圖2-36和表2-4。圖2-36   SEM中常見的電子信號和襯度關(guān)系　　表2-4   SEM中常見的電子信號和襯度關(guān)系第五節(jié)   荷電效應(yīng)掃描電鏡中還有一種不希望發(fā)生的現(xiàn)象，如荷電效應(yīng)，它也能形成某些特殊的襯度。不過在進行掃描...

第三節(jié)   掃描電鏡像襯度形成原理   　   掃描電鏡通過電子束在樣品表面周而復(fù)始的進行掃描運動，同時實時監(jiān)測各種信號圖像的產(chǎn)額，然后根據(jù)產(chǎn)額的多少調(diào)制成圖像。   引起各種信號產(chǎn)額掃描電鏡像襯度的來源有三個方面：① 試樣本身性質(zhì)（表面凹凸不平、成分差異、取向差異、表面電位差別等）；② 信號本身性質(zhì)（二次電子、背散射電子）；③對信號的人工處理。     §1. 形貌襯度   樣品所謂的形貌...

以石墨烯、BN、MoS2為代表的二維材料因其特殊的性能成為現(xiàn)在科研領(lǐng)域的新寵?，F(xiàn)在，除了石墨烯和MoS2等熱度較高的二維材料之外，很多其他類型的二維材料也相繼被開發(fā)出來。然而真正的二維材料因為厚度極薄，在掃描電鏡下襯度較低；而且因為X射線在深度方向的穿透，EDS對二維材料上的分析也無能為力。而目前的二維材料除了用到SEM之外，拉曼光譜也是極其重要的表征手段，而將兩者完全一體化的電鏡-拉曼系統(tǒng)...

在使用掃描電鏡進行形貌觀察的時候，有時為了能同時獲取形貌和成分襯度的圖像，會采取多通道探測器同時進行 SE 和 BSE 的信號采集的方式。SE 和 BSE 圖像雖然都可以滿足形貌觀察的要求，但是它們對形貌的表現(xiàn)卻并不完全一致，尤其是需要對樣品進行精確測量的時候。兩者的測量結(jié)果可能會存在很大誤差，哪一個結(jié)果才是正確的？是什么導(dǎo)致了誤差的出現(xiàn)？如何解決這一問題？...這就是我們今天準(zhǔn)備深入探討的...